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晟鼎小講堂丨離子靜電消除裝置在TFT-LCD的應用

2022-04-15


NO.1 什么是TFT-LCD?

TFT:Thin Film Transistor(薄膜電晶體
LCD:  Liquid Crystal Display(液晶顯示器
TFT-LCD面板基本結構為兩片玻璃基板中間夾住一層液晶。前端LCD面板貼上彩色濾光片,后端TFT面板上制作薄膜晶體管(TFT) 。由于TFT-LCD具有體積小、重量輕、低輻射、低耗電量、全彩化等優點,已在各類顯示器材上廣泛應用。




NO.2 TFT-LCD制程工藝


TFT-LCD制程工藝分為三大階段:

Array制程:在玻璃基板上制造出電路板的制成。要形成可用的薄膜電晶體,需要重復清洗5-7次。

Cell制程:將電晶體玻璃基板與彩色濾光片進行組合,TFT-LED的整個制造過程都必須在無塵室內進行。

Module制程:偏光片貼附完成后,液晶面板兩側搭載DRIVE IC(驅動零件),用來控制液晶顏色及亮度開關。


NO.3 重要角色-ESD(靜電放電)

在大規模半導體制造業中,靜電放電(ESD)一直扮演著重要角色,尤其對于TFT-LCD制造業和IC制造業,在設計、制造、測試和運送過程中都要考慮ESD的影響。20世紀80年代日本曾對報廢的電子產品進行分析,由ESD引起的損失約占1/3,造成良品率下降,影響收益。


在TFT-LCD制程中,摩擦和接觸的瞬間可產生約20A的大電流,并且玻璃基板屬非導體,不利于靜電釋放,有源層為非晶硅,屬于弱n型半導體,靜電累積(ESC)與靜電放電(ESD)過程比較容易造成絕緣層擊穿,形成短路或造成部分損壞,導致元器件漏電流的增加,形成缺陷,影響良品率。


NO.4 如何去除“重要角色”?

Array制程如何去除靜電?


Cell制程如何去除靜電?


Module制程如何去除靜電?


通過向電極針施加高電壓(3kV以上),在電極針的頂端部分進行電暈放電??蓪㈦姌O針周邊存在的空氣的電子性質被分解,產生離子,通過將這個離子傳導給帶電物體,進行靜電消除。

輕松解決靜電造成的:



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