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SPV-24M微波在線片式真空等離子清洗機

產品對比

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SPV-24M微波在線片式真空等離子清洗機

專門針對半導體行業的微波在線片式真空等離子清洗機,針對半導體芯?粘接前處理、塑封前處理、光刻膠去除、?屬鍵合前處理。等離子體不帶電,不對精密電路造成損害,采用磁約束方式,可兼容微波結和磁路。

設備參數
型號SPV-24M
設備尺寸2308*1360*2064mm(長*寬*高)
微波電源 雙微波電源2000W
容積約24L
清洗產品范圍 80-280mm*25-90mm(長*寬)
料盒尺寸范圍180-290mm*28-93mm*200mm(長*寬*高)
真空泵干泵
氣路配置 標配氧氣、氬氣兩路工藝氣體(可定制CF4氣體)
系統控制工控系統

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