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SPV-12Z在線片式真空等離子清洗機

產品對比

在線式真空等離子清洗機

SPV-12Z在線片式真空等離子清洗機

半導體行業專用RF在線片式真空清洗機,PLASMA處理在線片式等離子處理系統

設備參數
型號SPV-12Z
設備尺寸1650*1318*1803mm(長*寬*高)
RF電源 功率0-600W 頻率13.56MHZ
容積12升(長500*寬340*高70mm)
軌道數量 4條*2(分為待料區與處理區)
氣路配置標配兩路,氬氣/氧氣(可定制)
系統控制工控系統

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